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MKS流量計的詳細介紹及選型指南

更新時間：2014-02-25      點擊次數：5797
    美國MKS INSTRUMENTS產品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術，其產品廣泛地應用于各種半導體生產設備和制造過程中。
 
    MKS流量計是一種全金屬流量計，適用于各種氣體流量測量，模擬輸出精度為滿量程1%。全金屬的179A可滿足您的各種電氣和機械配置需求，包括卡邊緣和電器連接。模擬信號接口有9針和15針，數據接口有S-485和1/4compression。氣管接口有VCR和VCO。
 
    MKS流量計以單位時間內壓力體積的流量方式來控制氣體質量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應用在半導體行業，鍍膜玻璃，醫藥制藥行業，生物工程行業，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮氣，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。
 
    MKS流量計選型：
 
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