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簡要描述：BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點，以及壽命長、小振動的優(yōu)點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。
產(chǎn)品型號：EXT406PX廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2026-04-21訪 問 量：6110產(chǎn)品資料：詳細(xì)介紹
| 品牌 | Edwards/愛德華 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
BOC Edwards EXT406PX泵
性能特點
真空系統(tǒng)簡單
* 可以選用較小的前級泵。
* 降低真空系統(tǒng)體積與功耗。
* 前級壓力在8mbar就可啟動，入口負(fù)載可達(dá)2E-3 。
* 前級壓力在8mbar就可啟動，入口負(fù)載可達(dá)2E-3 。
* 前級壓力為17mbar時，還可維持正常轉(zhuǎn)速。
非常適合于與隔膜泵聯(lián)用，特別適用于抽H2。
兼容24v DC Edwards TIC渦輪控制器或渦輪儀表控制器。
* 也可使用用戶自己的24V DC電源。
技術(shù)數(shù)據(jù)
入口法蘭 DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF | ||
壓縮比 |
| |
| N2 | >1 x 10E11 |
| He | 1 x 10E6 |
出口法蘭（前級泵口） | DN25NW | |
前級泵（推薦） | XDS10或RV12（或其它更小的，依應(yīng)用而定） | |
放氣口 | 1/8 inch BSP | |
吹掃凈化口 | 1/8 inch BSP | |
zui高入口壓力（空氣） * | ||
水冷（水溫15°C，大氣溫度40°C） | 0.008mbar | |
空冷（大氣溫度35°C） | 0.012mbar | |
額定轉(zhuǎn)速 | 60000 rpm | |
轉(zhuǎn)速達(dá)到90%所需時間 ** | 285 s | |
冷卻方式 | 空冷/水冷 | |
大氣溫度（空冷） | 5-35 °C | |
冷卻水zui低流速（水溫15 °C） | 15 l/h | |
水溫范圍 | 10-20 °C | |
入口法蘭zui高溫度 | 100 °C | |
工作姿態(tài) | 垂直 | |
噪音（1m處） | <45 dB（A） | |
zui大磁場 | 5 mT | |
靜止功耗 | 25～40 W | |
EXT406PX渦輪分子泵安裝尺寸
A EXDC控制器
B 前級泵口
C 羅茨泵口
D 吹掃凈化口
E 放氣口
F 接地
EXT406PX渦輪分子泵特性曲線
訂貨信息
描述 | 貨號 |
EXT406PX 復(fù)合渦輪分子泵 DN100ISO入口法蘭 | B760-31-991 |
EXT406PX 復(fù)合渦輪分子泵 DN100CF入口法蘭 | B760-32-991 |
EXT406PX 復(fù)合渦輪分子泵 DN160ISO入口法蘭 | B760-41-991 |
EXT406PX 復(fù)合渦輪分子泵 DN160CF入口法蘭 | B760-42-991 |
EXDC160 24 V | D396-46-000 |
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